中心概况

南京大学是目前我国MO源研究和研制的主要基地，先后承担了“七五”、“八五”、“九五”、“十五”期间国家”863目，更在“十一五”“十二五“期间领衔国家科技重大专项项目。建成了多个MO源专用实验室，包括用于超纯纯化、超清洗、产品罐装及超纯分析等的超净室，自行设计和监制了MO源合成、纯化专用设备和罐装容器。多年来从产品的术、测试方法到封装已摸索出成熟完整的技术，现已研发出20多种国内迫切需要的MO源品种，纯度达到99.999%- 担的国家重大专项（“02”专项）“极大规模集成电路用高K关键材料技术研究”项目，成功打破了西方国家的垄（Zr）和TEMAHf（Zr）已在科研院校及研究机构和ALD设备生产厂家进行销售，南京大学是目前国内唯一拥有独立力的单位。

国家863计划新材料MO源研究开发中心将继承优良传统，进一步精益求精，以最新的研究成果，最优质的产品户，为我国大规模集成电路事业的发展作出贡献。

2000年，南京大学与苏州工业园区投资有限公司作为主要发起单位在苏州工业园区国际科技园发起成立了“江苏南大司”，授权该公司作为MO源的产业化基地，实施MO源的产业化。目前该公司已成功实施高纯三甲基镓、三甲基铟、三乙基化生产，成为全球四大MO源制造商之一，2012年8月7日成功在深圳证券交易所创业板上市。